Einsatz von MKT Luftschleier Systemen verhindert Luftaustausch im Reinraumbereich

 

Ein Halbleiterhersteller aus Südbayern musste zwei Reinräume, in denen unterschiedliche Überdrucke herrschten, lufttechnisch mit einander verbinden. Dabei wäre eine Überströmung (Querkontamination) von einem Raum in den anderen äußerst störend für die Produktion gewesen.

Hier konnte das ESM-System helfen. Kurz über dem Wanddurchbruch installiert, verhindert das, nur mit Umluft arbeitende, neue System sicher nun den Luftaustausch durch die unterschiedlichen Überdrücke der Reinräume. Die hohe Partikelreinheit der laufenden Produktion bleibt trotz Wanddurchbruch erhalten.

 

Funktionsschema (Seitenansicht)

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